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• 发布时间：2025-02-08 23:04:47
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　　金融界2024年12月26日音尘，国度学问产权局音信显示，上海集成电途装置原料财富更始中央有限公司申请一项名为“晶圆经管法子和晶圆经管装备”的专利，公然号CN 119179238 A，申请日期为2023年6月。

　　专利摘要显示，本出现供给了一种晶圆经管法子和晶圆经管装备，所述晶圆经管法子搜罗以下措施：S1、正在晶圆的表貌涂布正性光刻胶；S2、对所述晶圆表貌的所述正性光刻胶举行曝光经管；S3、采用负显影液对所述正性光刻胶举行显影经管，以正在保存所述晶圆表貌周围区域的光刻胶的同时，正在所述晶圆表貌的其余职位上酿成图案化的光刻胶，使得既保存了晶圆表貌周围区域一圈的光刻胶，同时又能显影出晶圆其余职位的图形，通过一次工艺流程即能实行晶圆周围扞卫和中央区域图形酿成，缩短了工艺流程，进步线宽平均性，合用于异常工艺如深硅孔刻蚀工艺。